簡述等離子體清洗在各方面的應用
等離子體清洗在各方面有什么樣的應用？下面，低溫等離子模塊廠家來給大家分享一下。
1、硬盤
用等離子清洗來去除由上一步濺鍍工藝留下的殘余物，同時基材表面經過處理，對改變基材的潤濕性，減小摩擦，很有益處。
2、零件清洗
在經過機械加工的零件表面主要殘留物為油類污染，采用O2等離子體去除會有用。
3、BGA封裝工藝
在BGA工藝中，對表面清潔和處理都是嚴格的，焊球與基板的連接要求一個潔凈表面以保障焊接的一致性。等離子體處理它可以保障沒有痕跡，BGA焊盤要求等離子處理來保障良好的粘接性能，并且，已有批量和在線式的清洗工藝。
4、液晶顯示器生產中的清洗
在液晶清洗中的干式清洗，使用的氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和臟物粒子，因為氧等離子體可將有機物氧化，形成氣體排出。
5、蝕刻工藝
某種程度來講，等離子清洗實質上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。進行干式蝕刻工藝的設備包括反應室、電源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反應室。氣體被導入并與等離子體進行交換。等離子體在工件表面發生反應，反應的揮發性副產物被真空泵抽走。等離子體刻蝕工藝實際上便是一種反應性等離子工藝。
